Zeiss Axio Imager Vario

Untersuchen Sie große Proben - automatisiert und reinraumkompatibel

Analysieren Sie zerstörungsfrei kleinste MEMS-Sensoren bis zu XXL Wafern oder sogar ganze Flachbildschirme. Dank einer möglichen Probenhöhe von bis zu 254 mm und einem seitlichen Abstand bis 300 mm können Sie mit Axio Imager Vario ein maximal großes Probenspektrum untersuchen. Das Säulendesign bietet hohe Stabilität. Kontrollieren Sie Ihre Wafer im Reinraum – Axio Imager Vario ist nach DIN EN ISO 14644-1 zertifiziert und entspricht den Anforderungen von Klasse 5. Ein motorisierter Z-Trieb zusätzlich zum Hardware Auto Focus sorgt für die automatische Einstellung der optimalen Fokusposition.

Die Herstellung von Halbleitern und die Inspektion von Wafers erfolgen in Reinräumen. Reinräume sind nach DIN EN ISO 14644-1 entsprechend der Anzahl und Größe der Partikel pro m³ klassifiziert. Axio Imager Vario ist nach dieser Norm zertifiziert und entspricht den Anforderungen von Reinraumklasse 5. Reinraumklasse ISO 5 entspricht Klasse 100 der alten Norm FED STD 209E (1992). Verwenden Sie das Reinraum-Kit mit einem 7-fach-Objektivrevolver, Partikelschutz und Niesschutz.

Hardware Auto Focus

Kombinieren Sie Ihr Axio Imager Vario mit Hardware Auto Focus und profitieren Sie von der präzisen und schnellen Fokussierung reflektierender Proben mit einem Fangbereich von bis zu 12000 µm. Sie arbeiten mit einem Fokussystem, das hohe Präzision mit einer Objektivtiefenschärfe von 0,3 bietet. Verwenden Sie den Autofokus Ihrer Anwendungen in Auf- und Durchlicht, Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisationskontrast, differenziellem Interferenzkontrast und Schrägbeleuchtung.

Gerne beantworte ich Ihre Fragen auch persönlich

Dr. Marcel Hinz

Tel.: 02103 / 963 440 9

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