Zeiss Axio Imager Vario

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Produktbeschreibung
  • Überblick

    Untersuchen Sie große Proben - automatisiert und reinraumkompatibel

    Analysieren Sie zerstörungsfrei kleinste MEMS-Sensoren bis zu XXL Wafern oder sogar ganze Flachbildschirme. Dank einer möglichen Probenhöhe von bis zu 254 mm und einem seitlichen Abstand bis 300 mm können Sie mit Axio Imager Vario ein maximal großes Probenspektrum untersuchen. Das Säulendesign bietet hohe Stabilität. Kontrollieren Sie Ihre Wafer im Reinraum – Axio Imager Vario ist nach DIN EN ISO 14644-1 zertifiziert und entspricht den Anforderungen von Klasse 5. Ein motorisierter Z-Trieb zusätzlich zum Hardware Auto Focus sorgt für die automatische Einstellung der optimalen Fokusposition.

    Die Herstellung von Halbleitern und die Inspektion von Wafers erfolgen in Reinräumen. Reinräume sind nach DIN EN ISO 14644-1 entsprechend der Anzahl und Größe der Partikel pro m³ klassifiziert. Axio Imager Vario ist nach dieser Norm zertifiziert und entspricht den Anforderungen von Reinraumklasse 5. Reinraumklasse ISO 5 entspricht Klasse 100 der alten Norm FED STD 209E (1992). Verwenden Sie das Reinraum-Kit mit einem 7-fach-Objektivrevolver, Partikelschutz und Niesschutz.

    Hardware Auto Focus

    Kombinieren Sie Ihr Axio Imager Vario mit Hardware Auto Focus und profitieren Sie von der präzisen und schnellen Fokussierung reflektierender Proben mit einem Fangbereich von bis zu 12000 µm. Sie arbeiten mit einem Fokussystem, das hohe Präzision mit einer Objektivtiefenschärfe von 0,3 bietet. Verwenden Sie den Autofokus Ihrer Anwendungen in Auf- und Durchlicht, Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisationskontrast, differenziellem Interferenzkontrast und Schrägbeleuchtung.

  • Highlights

    Profitieren Sie von einer maximalen Probenhöhe von bis zu 254 mm und einem seitlichen Abstand von 300 mm x 300 mm.

    Wählen Sie zwischen einer manuellen und einer motorisierten Säule mit branchenkonformem 3-Tasten-Betrieb.

    • Axio Imager Vario fokussiert mit dem Revolver auf der Probe. Das bedeutet, dass Sie speziell bei schweren Proben eine hohe Fokussiergenauigkeit und Wiederholbarkeit erreichen.
    • Mit Hardware Auto Focus profitieren Sie von einer präzisen, schnellen Fokussierung reflektierender, kontrastschwacher Proben.
    • Mit Axio Imager Vario in Kombination mit LSM 700 können Sie empfindliche Proben in hoher Auflösung berührungsfrei analysieren.
    • Axio Imager Vario ist nach DIN EN ISO 14644-1 zertifiziert und entspricht den Anforderungen der Reinraumklasse 5.
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